纳米加工平台是中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的四个集科研攻关与加工服务于一体的技术平台之一。纳米加工平台是国家微纳加工与制造产业技术创新战略联盟成员单位、中国科学院纳米器件平台、江苏省纳米加工服务平台、苏州市微纳器件加工及系统集成服务平台、苏州市微纳加工实训基地和苏州工业园区纳米技术人才实训基地。

纳米加工平台是集微纳加工、检测及封装于一体，具有先进装备与特色服务的平台。平台拥有超净实验室10000平方米，大型设备300余台套，具备开展微机电系统、光电子器件、功率器件、微流道与生物芯片，以及异质异构与超集成芯片的科学研究和产品开发能力。平台提供技术咨询、微纳加工服务和专业培训，允许用户独立操作和自主研发。同时，平台搭建和企业、高校联合攻关，集“产、学、研、检”为一体的创新合作模式。

纳米加工平台的学科研究涵盖（超）宽禁带半导体材料与器件、化合物半导体、自旋电子学、二维材料与器件、功率射频器件、光电子器件、光子集成芯片、异质异构和微系统集成工艺等领域。平台的建设目标是助力半导体产业发展，致力于打造国际一流、集产学研于一体的微纳加工研发及服务基地。