高分辨X射线衍射仪（B204）
应力仪
台阶仪KL
台阶仪
四探针
扫描电子显微镜
膜厚仪
冷场发射扫描电镜
高压高流探针系统
Veeco轮廓仪
PE分光光度计
晶圆缺陷检测光学系统
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