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[公告]纳米加工平台光刻统一管理规范
文章来源:admin 时间:2016-05-24

纳米加工平台光刻统一管理规范2.0

1、 光刻培训使用两寸片由培训老师提供,被培训的学员不得占用培训机时操作自己带来的样品。

2、 客户进行光刻考核需严格按照培训标准执行,培训完当天不允许进行光刻培训考试,考试未通过的客户重新预约培训机时练习(可按课时预约练习)。

3、 客户预约使用MA6光刻机需遵守《MA6预约使用规范》。

4、 客户禁止随意转移MA6板架和托盘,装载掩膜版时板架需轻拿轻放。

5、 客户委托工作人员做工艺时,客户必须在场,工艺费用按照工艺人员的准备时间开始计时,如光刻涂胶、显影时间也要计入客户预约机时内。

6、 客户委托操作最低预约时间为1h,若样品较多,需按样品数量酌情增加机时。(:由于样品大小、套刻精度、样品数量等不确定因素,不能保证客户预约的时间一定完成)

7、 平台包年客户,禁止长时间占用机时。

8、 例如客户ABCD四位预约设备时,客户A若提前完成工艺,客户B可以接续使用设备,工艺费用按照实际使用时间计费,超时则加收费用。客户C和客户D不可以越过B而进行工艺。

9、 客户严禁对设备进行开关机以及调试,如急需使用,须联系设备负责人。

10、 客户严禁对设备的系统参数进行更改。

11、 超净间内电脑禁止玩游戏,上网浏览网页。

12、 氮气烘箱需预约使用,严格遵守《氮气烘箱使用规范》。客户使用时明确登记预约时间、样品、联系人、联系方式。

13、 客户同一课题每种光刻胶只允许领一份,光刻胶不得随意带出,严禁私用他人光刻胶。

14、 客户需严格按照预约时间,完成刷卡记录。

15、 客户完成工艺后,当场核对收费情况并完成(本人)签字,如本人不能到场,同组人代签(登记代签人姓名)

16、 工作人员check out时,备注:操作xxx,确认xxx

17、 客户进行工艺时,预约人必须在场,严禁使用他人账号预约。

18、 客户完成工艺后,及时清洁整理台面(显影台、匀胶台、桌面等),并带走个人物品。

19、 客户所使用设备,超过预约时间5min,即按下一个计时单元收取费用.

20、 客户严格按预约时段进行工艺,不允许提前、插空等行为,如不能按时过来请15min内打电话通知工艺人员,否则不予实施。(如前面客户临时取消,后面客户可以提前,费用按照实际上机时间收取)

21、 客户单独匀胶的收费标准按照《光刻胶统一收费标准》登记和收取(附录三)

22、 客户当日加班工艺预约时间,中午须在11:00以前、晚上17:00以前,否则不予审核。

23、 客户领用光刻胶存放的有效时间为3个月,存放期内未使用完可以至领胶处更换标签,如逾期未更换标签予以清理。

24、 客户申领平台提供的光刻胶,统一存放在203匀胶间处的冷藏柜中,使用时自行存取,非本人严禁挪用。

25、 客户自带特殊胶,经工艺部部长和当周值班主任签字授权后,请至105光刻间,由工作人员先做标识后存放在冷冻柜或者冰箱中,严禁客户自行存和取。

26、 客户自带的特殊胶,平台存放时间为1个月,逾期将废液处理,请根据具体工艺,酌量带入实验室.

27、 203匀胶间的芯源匀胶机只允许旋涂授权的光刻胶,其他胶必须经过设备负责人 审核授权。

28、 光刻间的显微镜只允许当前进行光刻工艺的客户使用,工作人严格监督。

29、 非设备负责人严禁进入电子束小屋。

30、 新客户必须经过培训后才可以使用膜厚仪、去胶机。未获得授权之前,必须网上预约设备。

31、 严禁客户自行培训他人,并转借帐号。

32、 客户在使用设备的过程中发现故障,须立即停止工艺,并告知工作人员处理。

33、 取得电镀工艺独立操作的客户,3小时以内的单次单片工艺,设备机时费用按100元/h收取;工艺时间超过三小时的单次单片工艺,设备机时收费上限为300元;原电镀液收费标准不变。(委托加工费用,需要详细评估后,确定费用收取明细。)

34、 光刻胶收费明细见附录2、附录3

 

 

 

 


处罚规定:                                           

        a)  第一次违反规定,将进行通报公示。

b) 第二次违反规定,通报公示并处 200元现金罚款,罚款需在48小时内付清,逾期未交禁止进入超净室6个月。

c) 第三次违反规定,通报公示并处500元现金罚款,罚款需在24小时内付清, 逾期未交禁止进入超净室6个月。

d) 第四次违反规定,禁止进入超净室6个月 。  

  备注:违规次数与超净间内所有违规累计                                               

1、本办法经纳米加工平台主管领导核准后,公告实施。

2、本规定由纳米加工平台负责解释。


                                                                                审核:王逸群                   批准:张宝顺


附录1