通知公告
[公告]纳米加工平台匀胶间管理规定
文章来源:admin 时间:2016-05-24

纳米加工平台匀胶间管理规定

声明

1、匀胶间禁止一切浪费耗材与有损设备的行为,管理规定设定即为保证匀胶间的安全整洁与设备的正常运行。

2、匀胶间值班人员负责监管匀胶间的工作情况,有权纠正和制止违规人员行为。

3、对于违反规定者,加工平台有权追究其责任,作出相应的惩罚。

根据匀胶间的实际情况特作出以下规定:

1、匀胶前请先登记,请填写好起始时间、设备名称、样品尺寸以及所使用光刻胶种类。

2、为控制匀胶间洁净度,同一课题组只允许同时两人进入,严禁匀胶间嬉戏打闹。

3、两组客户同时需要匀胶时,预约光刻工艺前一个小时的用户,优先使用涂胶机,客户之间务必遵守.

4、严禁样品尺寸小于吸盘真空范围,对于有通孔的样品,一律要先贴蓝膜再匀胶。

5、如是双面涂胶,禁止把涂胶面直接放在热板上烘烤.

6、国产小匀胶台调节转速时请先放置样品再开真空,以避免真空泵长时间超负荷空转而使其烧坏。

7、晶片在匀胶后烘烤前如发现背面有残胶,请先去除残胶再烘烤,避免背面光刻胶随烘烤沾到热板上,造成热板的平整度降低与热度的不均匀,并且要及时取下吸盘清洗表面残胶后方可再次匀胶,以此避免大量光刻胶涌入真空管道,导致真空度降低。

8、匀胶时如不慎有大量光刻胶倾洒,请立即用无尘纸将其擦干净并通知工作人员。

9、匀胶完毕请及时清理台面,废弃无尘纸放入垃圾桶,吸管、棉签放入指定位置,严禁随意丢弃或丢入清洗槽中。

10、匀胶完毕请及时归位自己的光刻胶,每天18点后,管理员会定期清理还未归位的光刻胶,请勿寻找。

11、TRACK自动匀胶机仅用于AZ系列的光刻胶匀涂,严禁旋涂其他光刻胶。

12、标注特定温度的热板严禁修改温度,其他热板可随意修改但最高不要超过180℃。

13、光刻转移箱(黑色盒子)仅用作未曝光样品的转移,严禁私自挪用存放样品。

14、匀胶间内客户样品仅可暂存24小时,逾期管理员有权对其进行清理。

15、LOR10A20B30B以及常用的电子束光刻胶使用时请联系管理员,按片计费。

16、特殊胶的旋涂开放时间为,每天工作日的中午12:00-13:30以及下午17:00-18:00,使用前一定要提前预约并联系房间负责人。

17、处罚规定:                                           

        a)  第一次违反规定,将进行通报公示。

b) 第二次违反规定,通报公示并处 200元现金罚款,罚款需在48小时内付清,逾期未交禁止进入超净室6个月。

c) 第三次违反规定,通报公示并处500元现金罚款,罚款需在24小时内付清, 逾期未交禁止进入超净室6个月。

d) 第四次违反规定,禁止进入超净室6个月 。

e) 加工平台人员第一次违反规定,通报公示并处 200元现金罚款,罚款需在48小时内付清,逾期未交禁止进入超净室6个月。  

  备注:违规次数与超净间内所有违规累计。                                               

18、本办法经纳米加工平台主管领导核准后,公告实施。

19、本规定由纳米加工平台负责解释。




                                                                                                  审核:王逸群                   批准:张宝顺





                                                                                                                               纳米加工平台